1. Hangarau Micromachining tinana
Te Hangarau Laser Beam: He tukanga e whakamahi ana i te hiko waiariki a te kurupae laser hei tango i nga rawa mai i te whakarewa, i te mata kore-whakarewa ranei, he pai ake mo nga mea pakarukaru he iti te kawe hiko, engari ka taea te whakamahi mo te nuinga o nga rawa.
Tukatuka kurupae katote: he tikanga hanga kore tikanga nui mo te hanga moroiti/nano.Ka whakamahia te rere o nga katote whakatere i roto i te ruma korehau hei tango, hei taapiri, hei whakarereke ranei i nga ngota i runga i te mata o tetahi mea.
2. Hangarau micromachining matū
Reactive Ion Etching (RIE): he tukanga plasma e hikaka ai nga momo na te rere o te reo irirangi ki te tarai i tetahi taputapu, kiriata angiangi ranei i roto i te ruma pehanga iti.He tukanga whakakotahitanga o nga momo mahi matū me te puhipuhi o nga katote-kaha nui.
Te Mahinga Hiko (ECM): He tikanga tango konganuku ma te mahi hiko.Ko te nuinga o te waa ka whakamahia mo te hanga papatipu machining o nga rawa uaua rawa ranei he uaua ki te miihini me nga tikanga tikanga.Ko tana whakamahinga he iti noa ki nga rauemi conductive.Ka taea e te ECM te tapahi i nga koki iti, kua tohuhia ranei, nga waahanga uaua, nga kohao ranei i roto i nga konganuku pakeke me te onge.
3. Hangarau miihini miihini miihini
Taimana Hurihuri:Ko te tukanga o te huri, o te miihini ranei i nga waahanga tika ma te whakamahi i nga miihini, i nga miihini i ahu mai ranei me nga tohu taimana taiao, waihanga ranei.
Mii Taimana:He tukanga tapahi ka taea te whakamahi ki te whakaputa i nga huinga arotahi aspheric ma te whakamahi i te taputapu taimana porohita ma te tikanga tapahi mowhiti.
Miro Tika:He tukanga abrasive e taea ai te mahi miihini ki te mutunga o te mata pai, me te tino tata ki te 0.0001" whakaarata.
Whakakorikori:He tukanga abrasive, argon katote kurupae oro he tukanga tika pūmau mō te whakaoti whakaata telescope me te whakatika hapa toenga i oro mihini ranei optics huri taimana, te tukanga MRF ko te tukanga oro tuatahi whakatau.Ka tauhokohoko ka whakamahia hei whakaputa i nga arotahi aspherical, whakaata, aha atu.
3. Hangarau laser micromachining, kaha i tua atu i to whakaaro
Ko enei kohao kei runga i te hua ko nga ahuatanga o te rahi iti, te tau kiko, me te tika o te tukatuka.Na tona kaha teitei, te pai o te ahunga me te honohono, ka taea e te hangarau miihini miihini laser te arotahi i te kurupae laser ki roto i etahi microns te whanui ma te punaha whatu motuhake.Ko te waahi marama he nui rawa te kukū o te kiato pūngao.Ka tere te tae o te rauemi ki te waahi whakarewa, ka rewa ki te rewa.Ma te mahi tonu o te laser, ka timata te whakarewatanga ki te kohu, ka puta he paparanga kohu pai, ka hanga he ahua e noho tahi ai te kohu, te totoka me te wai.
I roto i tenei waa, na te kaha o te pehanga mamaoa, ka rehu aunoa te rewa, ka puta te ahua tuatahi o te poka.Ka piki ake te wa whakamaarama o te kurupae laser, ka piki tonu te hohonu me te diameter o nga microspores tae noa ki te mutunga o te whakamaarama laser, a ko te whakarewatanga kaore ano i mapuhia ka pakari ki te hanga i te paparanga recast, kia tutuki ai te kurupae taiaho kore tukatuka.
Na te piki haere o te hiahia mo te miihini miihini o nga hua tino tika me nga waahanga miihini i roto i te maakete, me te whakawhanaketanga o te hangarau miihini miihini laser kei te piki haere ake te pakeke, ko te hangarau miihini miihini laser e whakawhirinaki ana ki ona painga tukatuka matatau, te pai o te tukatuka me nga rauemi miihini.Ko nga painga o te here iti, kaore he kino o te tinana, me te mana mohio me te ngawari ka nui ake te whakamahi i roto i te tukatuka o nga hua tino-nui me nga hua.
Wā whakairinga: Sep-26-2022